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微纳器件设计与制造研修班

 地点:北京  发布时间:365体育投注:/11/21 14:59:16 字体大小:+
 会议开始时间:365体育投注:/12/13  会议结束时间:365体育投注:/12/16

365体育投注:计算技术研究所西部高等技术研究院

微纳器件设计与制造研修班

为落实国家科技兴国战略,支撑产业落地需求,加强微纳器件设计与制造在产学研用中的结合,促进微 纳产业高质量的发展,365体育投注:计算技术研究所西部高等技术研究院定于 365体育投注: 年 12 月 13 -16 日在北京举办“微纳器件设计与制造研修班”。培训聚焦MEMS 发展历程、热门MEMS 器件及其应用、微米纳米器件集成封装技术等领域的创新,服务于众多快速发展的电子信息、先进材料、智能制造等微纳相关产业。旨在通过学习基础理念知识, 结合实例,分析国内外发展现状,探讨微纳器件设计与制造在基础研究和成果转化中的应用,夯实微纳科技 相关从业者的实操技能,推动我国微纳技术在器件设计与制造领域的持续创新。北京中科云畅应用技术研究院在365体育投注:电子学会(国家专业技术人员继续教育基地)的支持下举办“微纳器件设计与制造研修班 ”由中科院及权威专家主讲。具体培训通知如下。

欢迎广大相关企事业单位科技工作者、核心技术人员踊跃报名参加!

主办单位:中科院计算所西部高等技术研究院

指导单位:365体育投注:电子学会(国家专业技术人员继续教育基地)

承办单位:北京中科云畅应用技术研究院

一、培训时间:

365体育投注: 年 12 月 13--12月16日 北京

(第一天报到授课三天)

二、培训费用:

A 类: ¥RMB:4300 元 /人,(包含报名费、培训费、资料费、证书费)食宿可统一安排,费用自理学员经培训考试合格后可以获得:由 北京中科云畅应用技术研究院 颁发的结业证书

B 类: ¥RMB:4800 元/人,(包含报名费、培训费、资料费、证书费)

培训结束经考核合格,可获得由365体育投注:电子学会颁发全国电子信息人才能力提升工程专业技术证书, 依据人力资源与社会保障部《国家级专业技术人员继续教育基地管理办法》(人社厅发〔2013〕53 号)的要求,本次学习情况,本次学习情况可计入继续教育学时并作为对专业技术人员考核评价、岗位聘用职称评聘和执业注册的重要依据。须提交电子版彩色照片,身份证复印件。

三、培训对象

从事微纳科技领域研究的科技工作者,高等院校中相关专业或交叉学科的师生,企事业单位中从事微纳相关技术研究的研发人员、技术骨干及高级管理人员,同时也欢迎对微纳米技术和产业感兴趣的其他人员积极参与。

孙建海 博士 硕导 中科院电子研究所 目前主要研究方向:纳米气体传感器、MicroTCD传感器、MiniPID传感器及与色谱/微色谱集成的便携式检测仪(MicroGC/GC-μTCD,MicroGC-PID及环境毒气检测仪等),仪器性能达到国际先进及领先水平,可广泛应用与工业园区毒害气体溯源及监测、环境空气质量监测、公共安全风险防控、工业锅炉废气监测等领域。承担过多项省部级以上的科技项目:5项国自然面上基金,2项科技部重点研发项目子任务,2项北京市科委仪器项目,1项国家重点实验室仪器研制项目,3项技术转让与服务项目等。负责工业与信息化部批准的2项行业规范编制(主编),发表SCI论文50多篇,其中JCR1区论文10余篇,授权专利20多项,在审专利10余项。获得365体育投注:分析测试协会CAIA二等奖1项。

王喆垚,清华大学教授、博士生导师 男,1990 考入清华大学精密仪器系,1995 年获学士学位。同年免试进入清华大学精密仪器系攻读博士学位,2000 年获机械电子学专业工学博士学位。2000-2002 年在清华大学微电子学研究所从事博士后研究,2002-2003 年在荷兰 Delft University of Technology 微电子与亚微米技术研究所(Delft Institute of Microelectronics and Submicron Technology, DIMES)从事博士后研究,2003 年底回国工作。2003 年底任副教授,2008 年底晋升为教授。先后从事 RF MEMS、高频硅微加工器件,以及 BioMEMS的研究。授权365体育投注:发明专利 3 项,公开专利 6 项,获得北京市科技进步二等奖 1 项(5/9),清华大学科技成果推广三等奖 1 项(5/5)。2005 年入选北京市“科技新星计划”,入选 2005 年教育部“新世纪优秀人才支持计划”。目前负责国家自然科学基金(面上)、973 子课题、863 探索导向型项目,以及 Intel 和 ABB 公司国际合作项目。现为365体育投注:仪器仪表学会传感器分会理事,IEEE 会员,IEEE Sensors Journal,IEEE Trans. Ultrasonic Ferroelectrics and Frequency Control , Microelectronics Reliability, Sensors and Actuators A/B 等期刊应邀审稿人,IEEE Sensors Conference 2008 及 2009 技术委员会委员。发表国际期刊和会议论文 45 篇。

陈兢,北京大学教授,博士生导师。从事 MEMS 研发 20 余年,近 10 年主要致力于多材料微纳制造和先进封装等方面的研究。主持 863,国家自然科学基金重点项目,国家安全重大基础研究课题、国家预先研究、国家预先研究重点基金及国家预先研究基金等 15 项国家级科研项目;并在国家科技重大发展计划、国家安全重大基础研究、国家基础科研重点项目、863 重点项目、国家自然科学基金重点项目等多项国家重大重点项目中担任子课题/专题负责人。以第一作者/通信作者身份在国内外期刊和会议上发表学术论文 120 余篇;获得365体育投注:发明专利 60 余项;著有中英文学术著作 6 部。

四、优惠政策

11月 29日之前报名并缴费

11月 29日之后报名并缴费

3900(A类)元/人

4300(A类)元/人

4400(B类)元/人

4800(B类)元/人

优惠政策:

1、3 人以上团体报名每人可减少 400 元

2、学生持学生证或学生卡每人优惠 200 元

3、4+1 团报,可免费赠送一个名额

4、以上优惠不能同时享用,培训座位按收到费用先后顺序安排。

五、课程内容:

时间安排

章节

课程内容

 

 

 

 

 

 

 

12 月14日

上午

9:00-12:00

下午

2:00-5:00

一、MEMS 发展历程

本课程从微电子起源,以及 MEMS 诞生过程出发,分析总结微电子的成功经验、从 MEMS 到 NEMS 的发展历程,进而寻找产业发展背后的推动力,启发我们针对 MEMS 器件的特点如何做好 MEMS 研究与产业化工作,最后以MEMS 压力传感器为例讲解自身经历及思

考。

1)微电子起源和 MEMS 发展历史;

2)从 MEMS 到 NEMS 的发展历程及推动力;

3)典型 MEMS 器件简述;

4)NEMS 技术优势及关键工艺;

5)NEMS 的发展方向分析;

6)如何做好 MEMS 研究与产业化工作;

7)MEMS 压力传感器产业化经历及思考。

 

二、热门 MEMS 器件及其应用(一)

本课程从硅基光电子器件基础知识入手,全面讲解基于MEMS 技术的光学传感器和气体传感器的关键技术、产业情况及典型应用, 并介绍典型智能 MEMS 传感器案例。

1)硅基光电子器件基础知识;

2)MEM光学传感器的设计、制造、封装和测试,以及3)典型应用;

4)MEM光学传感器产业现状、发展趋势及主要供应商;

5)MEMS气体传感器的设计、制造、封装和测试,以及典型应用;

6)MEMS气体传感器产业现状、发展趋势及主要供应商;

智能 MEMS 传感器案例介绍。

 

12月15日

上午

9:00-12:00

下午

2:00-5:00

三、热门 MEMS 器件及其应用(二)

本课程主要讲解 MEMS 的主流产品,包括压力传感器、加速度计、陀螺仪及组合式惯性传感器的关键技术、典型应用和产业现状, 重点剖析硅通孔 TSV 和晶圆级封装技术在MEMS 和传感器领域的应用。

1)典型 MEMS 压力传感器、加速度计、陀螺仪和惯性组合的设计、制造、封装和应用;

2)TSV 在MEMS 和传感器领域的应用及发展趋势;

3)MEMS 晶圆级封装技术在惯性传感器领域的应用;

4)典型 MEMS 传感器产品的产业现状、主要

供应商和代工厂及技术和产品发展趋势。

 

 

 

12月16日

上午

9:00-12:00

下午

2:00-5:00

四、微米纳米器件集成封装技术

主要讲授基于微米纳米加工工艺、器件设计与系统集成封装概念,将微米纳米器件封装涉及的材料、基板、互连、设计、工艺、测试、可靠性和系统集成等主要技术按国际上流行的微米纳米封装三个层面——圆片级封装、器件级封装、模块级封装以及有特色的真空封装进行介绍

一、硅基 MEMS 工艺技术

1、微机械加工中的光刻技术

2、体硅微机械加工技术

3、圆片键合技术

4、表面微机械加工技术

 二、微米纳米器件封装技术

1、微米纳米器件对封装的要求

2、微米纳米器件微装配技术

3、微米纳米器件芯片级封装技术

4、微米纳米器件级封装技术

 

六、联系方式:姜老师

联系方式:15611615363 010-89368120

报名邮箱:zky_im@163.com

附件:微纳器件设计与制造研修班报名回执.docx下载

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